現(xiàn)在不少工廠都要著潔凈室，那潔凈室有哪些防護(hù)要求了？
2020.06.19
潔凈室（Cleam Room）不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能具有維持原先所設(shè)定要求的潔凈度、溫濕度及壓力等性能的特性。潔凈室主要的作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為“潔凈室”。按照國際標(biāo)準(zhǔn)，潔凈室級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。
潔凈室內(nèi)需按如下要求設(shè)置：
防靜電地板：點對點電阻<10E9Ω；點對地電阻<10E9Ω2、
防靜電墻板：點對點電阻<10E9Ω；點對地電阻<10E9Ω3、
防靜電窗：點對點電阻<10E9Ω；點對地電阻<10E9Ω4、
可靠的接地系統(tǒng)：點對點電阻<1Ω5、
空氣電離系統(tǒng)：根據(jù)制程工藝確定平衡電壓范圍和消電時間，推薦：平衡電壓<±35V。
除此之外，也要定時消毒。
要進(jìn)行潔凈間的滅菌殺毒處理（車間紫外線照射或臭氧消毒處理）：在潔凈間使用一段時間后，部分區(qū)域?qū)⒋嬖陔y以清潔到位的區(qū)域（如風(fēng)管內(nèi)壁），此時，使用紫外線照射或臭氧消毒30分鐘以上，可以有效防止霉菌的交叉污染（不可在有人情況下殺菌）。當(dāng)然，在日常情潔時，由于紫外線對霉菌孢子的殺菌效果有限，可適當(dāng)配合酒精噴霧等方法進(jìn)行處理。而因為臭氧具有強(qiáng)氧化性，因此一般一年1-2次。
